设施

我们的设施:乔治·j·科斯塔斯东北大学纳米技术和制造研究中心raybet雷竞技雷竞技app最新版

设施包括一个10000平方英尺的洁净室。我们的设施包括一个完整的包括6英寸晶圆工厂批量微加工,金属表面微加工和电子束光刻技术。它也有一个CMP工具(与终点检测),激光表面扫描仪,激光空气和液体计数器(200纳米的分辨率),数控粒子计数器(10纳米的分辨率),电动电势测量到1纳米粒子,一些清洁工具,原子力显微镜在光学和FESEM。

• 10000平方英尺的洁净室
• 完整的6英寸晶圆工厂
• 纳米系统(电子束,AFM)能够使结构到20海里
• 体积与金属表面微加工
• 激光表面扫描仪(200海里)》
• 机载激光计数器(200海里)》
• TSI数控粒子计数器(2纳米研究》)
• PSIA XE150原子力显微镜
• Nikkon荧光显微镜
• 卡尔Ziess上25 FESEM与EDS
• 纳米颗粒电动电势测量
• 表面能量和接触角的自动测量
• Zygo表面分析器
• CMP终点检测工具
• Nanoimprint光刻