日立s - 4800
地点:伊根106
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日立s - 4800是一种高分辨率扫描电子显微镜(SEM)和场发射冷枪。最大分辨率可以达到~ 1海里。它配备了能量色散x射线能谱(EDS)系统,使样品元素分析。它也有一个Nabity纳米电子束模式生成系统。
仪表规范
| 电子源 | 冷了场发射枪 |
|---|---|
| 加速电压 | 500 v 30 kv在100 v的步骤 |
| 决议 | 1.0 nm加速电压15千伏,工作距离4毫米 2.0 nm加速电压1 kv,工作距离1.5毫米 |
| 放大 | 高杂志模式100 x 800000 x 低镁模式30 x 2000 x |
| 样品阶段 | X导线0到110毫米 Y导线0到110毫米 Z导线1.5 - 40毫米 5°+ 70°倾斜 旋转360° |
| 样本大小 | 马克斯。150毫米(6) |
| 图像模式 | 二次电子成像 背散射电子成像 |
| 配件 | 能量色散x射线光谱分析系统 Nabity纳米电子束模式生成系统 |
上次更新2022年5月5日