EECE 7244。微机电系统(MEMS)概论。(4小时)

介绍微机电系统，包括传感和驱动原理，微机电系统的微细加工技术，噪声概念和封装技术。涵盖了广泛的学科，从电子学到力学，材料性能，微加工技术，电磁学和光学。研究了几类器件，包括惯性测量器件、压力传感器、射频元件和光学MEMS。本学期的最后三分之一主要用于涉及MEMS器件设计的项目，以实际制造过程的规格。