EECE 5606。微纳米制造“，”(4小时)
从工艺工程师的角度提供集成电路制造的概述。为学生提供一个在集成实验室课程中制造微纳米级器件的机会。在课程的讲座部分，重点关注集成电路制造的物理、化学和技术，而学生在集成的实验室课程中制造和测试新设备(电流体动力微泵和三维碳纳米管互连)。专注于硅集成电路技术，但也包括来自其他材料和设备系统的例子，包括用于构建设备的微机电(MEMS)技术，如加速度计、压力传感器和通信开关，以及其他目前从纳米制造和纳米技术提供的例子。实验时间是有安排的。
先决条件:EECE 2412最低成绩为D或研究生课程录取